各式真空泵的(de)工作原理(lǐ) 無油幹式機械真空泵（又簡稱幹式機械泵）指泵能從大氣壓力下開始抽氣。泵腔內(nèi)無油或其他工作介質，又能将被抽氣體直接排到大氣中去(qù)。而且泵的(de)極限壓力與油 封式真空泵同等量級或者接近的(de)機械真空泵。 目前。泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。随着科學(xué)技術的(de)發展以及真空應用領域的(de)擴大，真空行業使用的(de)大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充 任泵的(de)工作介質。原有的(de)機械真空泵及其組成的(de)抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一(yī)是泵的(de)工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響産品的(de)質 量、數量，增加設備的(de)維護本錢。其次，由于某些工藝過程中的(de)反應物質使真空泵內(nèi)的(de)介質嚴重蛻變，使泵不能正常工作。 對于普通的(de)無油真空系統來說。但不能完全解決問題，雖然可(kě)用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流。而且使系統顯得複雜。而使用适當型式的(de)幹式 機械真空泵，則可(kě)以達到理(lǐ)想的(de)使用效果。 幹式機械真空泵的(de)應用是廣泛的(de)主要有以下幾個方面： 1低(dī)壓化學(xué)氣相沉積中的(de)多晶矽制備工藝中； 2半導體刻蝕工藝。這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和(hé)研磨微粒； 3除半導體工藝外的(de)某些發生微粒的(de)工藝。而希望微粒排出泵外，不希望微粒混入泵油中。則用幹式機械真空泵可(kě)以滿足要求； 4化學(xué)工業、醫藥工業、食品工業中的(de)蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，适合用幹式真空泵； 5用做(zuò)一(yī)般無油清潔真空系統的(de)前級泵，以防止油污染。 近年(nián)來。國外多家大真空公司都研制出了新型的(de)幹式機械真空泵。國內(nèi)的(de)許多單位也一(yī)直在進行幹式機械真空泵的(de)開發研制工作，幹式機械真空泵得到迅速的(de)發展。 如(rú)東北大學(xué)、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前，幹式機械真空泵主要分為(wèi)接觸型及非接觸型。接觸型的(de)幹式真空泵主要有葉片式、凸輪式、往複活塞 式、膜片式等，這類泵的(de)速度較低(dī)，适用于小容量高(gāo)壓縮比（單級壓縮比）非接觸型的(de)幹式泵有：羅茨型、爪型、螺杆型、渦旋型等，其速度較高(gāo)，适用于大容量， 低(dī)壓縮比（指單級壓縮比）不同類型的(de)幹式泵具有各自(zì)的(de)特點。使用時可(kě)根據不同的(de)用途加以選擇。 油封式真空泵是用油來堅持運動部件的(de)密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的(de)機械真空泵統稱。工作原理(lǐ)都是使泵腔工作室容積機械地(dì)增大和(hé)縮小而抽氣。當泵腔內(nèi)工 作室容積變得最小時。于是氣體進入泵吸入腔，與泵的(de)入口管道(dào)連通。一(yī)直到吸入腔容積最大偏重新與進氣口分開時為(wèi)止。當容積減少時，氣體被壓縮，直到氣體的(de) 壓力大于一(yī)個大氣壓，排氣閥被打開，将氣體排出。 用油作密封泵的(de)必要性：當前大量使用的(de)機械真空泵。相向運動的(de)零件間配合精度即使很高(gāo)。泵達到極限真空時，即使設計得最好。也難以阻止氣體由低(dī)真空端向入 口端“突破”返流。另外，由于泵在設計制造及裝配中不可(kě)防止地(dì)存在有害空間，這也降低(dī)泵的(de)極限真空度。油封式真空泵就是用油将相向運動的(de)零部件和(hé)排氣閥零 件間密封起來；将有害空間充填，使得高(gāo)壓氣體反“突破”機會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達到較高(gāo)的(de)真空度。歡迎你訪問上海耐勵泵業 http://www.shnaili.com/